Easily Customizable Solution for High-Purity Chemical Heating
慶達 PFA 框架式加熱器（PFA Frame Heater） 是專為半導體、面板（FPD）及太陽能等高潔淨、強腐蝕化學品加熱製程所研發的高階產品。
全機披覆採用符合 SEMI F57 規範之高純度 PFA 樹脂，具備極佳的耐化學腐蝕性與抗金屬離子析出能力。其獨特的軟性框架結構，兼具體積小、功率密度高與強大形變可塑性，能完美契合各式槽體佈局，實現 >99% 的超高熱傳導效率。
高純度潔淨包覆 (SEMI F57 Compliant)： 採用高品質半導體級 PFA 樹脂包覆，絕不釋放金屬離子或雜質溶出，確保化學品純度。
優異耐腐蝕性： 能抵抗高濃度強酸、強鹼及有機溶劑
極佳熱效率 (>99%)： 發熱體與 PFA 緊密包覆，熱阻極低，將電力轉化為熱能的效率高達 99% 以上。
高可塑性與靈活安裝： 軟性結構可依據客戶槽體形狀進行彎折與客製化排佈，極致節省槽體空間。
| 項目 | 技術規範 / 參數 |
| 化學品加熱溫度上限 | 150C |
| 加熱器本體最高耐溫 | 200C |
| 披覆材質 | 高純度 PFA 樹脂（符合 SEMI F57 規範） |
| 熱效率 | > 99% |
| 適用介質 | 混酸、王水、高純度去離子水（DI Water）、化學清洗液等 |
| 型號 (Model) | 額定電壓 (Voltage) | 輸出功率 (Output Power) | 適用槽體/應用 |
| PFA-F220-2K | 220V | 2KW | 小容量化學槽 / 循環預熱 |
| PFA-F220-3K | 220V | 3KW | 標準槽體加熱 |
| PFA-F220-4K | 220V | 4KW | 高流速/中大型槽體 |
| PFA-F220-5K | 220V | 5KW | 大功率快速升溫 |
| PFA-F220-6K | 220V | 6KW | 大功率快速升溫 |
| PFA-F220-8K | 220V | 8KW | 大型化學槽 / 高流速大功率連續加熱 |
半導體前段與後段濕製程： 晶圓清洗（Wafer Cleaning）、蝕刻（Etching）、顯影（Developing）設備。
高純度化學供應系統（CDS）： 化學品調配槽、化學品管道線上加熱。
光電與面板產業（FPD）： 玻璃基板濕式清洗槽、Stripper 剝膜槽。
高階生醫與太陽能： 太陽能電池片酸洗槽、生物醫藥高純度液體加熱。
防空燒與液位保護（極重要）：
PFA 雖具備高溫防護，但嚴禁無液空燒！運轉時，發熱區必須完全浸沒於化學液中。
建議： 槽體必須連鎖配置雙重液位開關（Float/Optic Level Switch） 及 超溫保護開關（Thermal Cut-off）。
彎折限制與安裝防護：
安裝時請遵循原廠規範之最小彎曲半徑，避免過度銳角折彎導致內部發熱線或 PFA 披覆破損。
避免硬物劃傷：
PFA 材質較軟，安裝或清洗槽體時應避免銳利金屬工具碰撞或劃傷表面，否則會影響絕緣與耐腐蝕壽命。
若您有特殊槽體尺寸或化學品加熱需求，請提供以下資訊，我們的半導體熱能團隊將儘速為您評估：
化學品成分與濃度：
槽體內部尺寸（L × W × H）：
目標加熱溫度與升溫時間需求：
工作電壓與單/三相需求:
